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Polaris Genauigkeit und Präzision bis auf den Nanometer

HIGH-END 3D Oberflächenmesstechnik für ANSPRUCHSVOLLSTE Messaufgaben auf KOMPLEXEN Oberflächen

Das neue Polaris Desktop 3D Oberflächenmesssystem von Solarius ermöglicht eine hochgenaue und präzise 3D Abbildung von Oberflächen. Während sich das Polaris und das Polaris Plus in Sachen Genauigkeit und Präzision ebenbürtig sind, bietet das Polaris eine kosteneffektive Variante für viele Anwendungen. Das Polaris Plus erweitert den Anwendungsbereich durch seine umfangreiche Ausstattung, die insbesondere eine einfache Automatisierung der Messaufgaben unterstützt.

  • Höchste optische und digitale Aufl ösung
  • Beugungsbegrenzte Abbildung
  • Bewährte Technologie
  • ISO konforme Rauheitswerte
  • Berührungslose Messungen
  • Wartungsfrei und robust

Das Solarius Polaris 3D Messsystem basiert auf der seit vielen Jahren bewährten Spinning Disc Konfokaltechnik. Bei der Konstruktion und Berechnung der Optik wurde großer Wert auf eine physikalisch optimale Beugungsbegrenzung der Optik gelegt, welche es ermöglicht auch lateral in Strukturbereichen von weit unter einem Mikrometer genau und wiederholbar präzise zu messen.

 

SensorenKonfokale Flächensensoren
Interferometrische Flächensensoren
Messbereich Lateral150 mm x 150 mm
Messbereich Vertikal400 µm bis 100 mm
Auflösung LateralBis zu 70 nm
Auflösung VertikalBis zu 1 nm
LieferumfangSensor enstprechend Spezifikation
System PC und Controller
Solar ScanNT Software, Win10 x64
Solar Map Datenanalyse Software
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Typische Einsatzbereiche

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Anwender Elektronik

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Typische Messungen

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Automobil
industrie

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Wafer Fertigung

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Druck und Papier

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Battery & Power Pack

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Ihr Ansprechpartner
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Dennis Jansen

Application Specialist
Solarius Europa

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